การเพิ่มผลผลิตเซมิคอนดักเตอร์ผ่านวิศวกรรมผนังและเพดานห้องสะอาดที่ก้าวหน้า

ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การปรับปรุงผลผลิตแม้แต่หนึ่งจุดเปอร์เซ็นต์ สามารถแปลเป็นรายได้เพิ่มเติมสิบล้านดอลลาร์ต่อโรงงาน ในขณะที่วิศวกรรมกระบวนการได้รับความสนใจมากที่สุดสําหรับการปรับปรุงการผลิต ระบบห้องสะอาดมีบทบาทสําคัญและมักจะไม่ได้รับความคิดเห็นในการกําหนดสภาพแวดล้ ทีมวิศวกรที่ปรับปรุงระบบผนังและเพดานเป็นส่วนประกอบส่วนผสมของกลยุทธ์ผลตอบแทนได้รับข้อดีในการแข่งขันที่มีความหมาย

วิศวกรรมแผงผนังสำหรับการลดอนุภาค

ผนังของห้องสะอาด fab เซมิคอนดักเตอร์เป็นตัวแทนพื้นที่พื้นผิวที่ใหญ่ที่สุดในห้อง และดังนั้นจึงมีศักยภาพที่สุดที่จะมีอิทธิพลต่อการนับอนุภาค ทันสมัยแผงผนังห้องสะอาดออกแบบมาสําหรับการใช้งานเซมิคอนดักเตอร์มีพื้นผิวที่ออกแบบในระดับโมเลกุลเพื่อต้านการยึดติดอนุภาคและทําความสะอาดที่มีประสิทธิภาพ ระบบข้อต่อแผงใช้การเชื่อมต่อลิ้นและร่องที่มีความแม่นยำด้วยการใช้สารปิดผนึกอย่างต่อเนื่อง ขจัดช่องว่างขนาดเล็กที่สามารถสร้างอนุภาคผ่านการดัดภายใต้ความแตก ที่วัสดุแผงห้องสะอาดที่เลือกสําหรับโรงงานกึ่งตัวนำต้องได้รับการตรวจสอบสําหรับศักยภาพการปนเปื้อนไอออนต่ำ เนื่องจากไอออนโลหะบางอย่างสามารถย้ายจากพื้นผิวแผงไปยังพื้นผิวเวเฟอร์และสร้างขความต้องการเพดานห้องสะอาดสำหรับเพดานห้องสะอาดเซมิคอนดักเตอร์ไม่เพียงแค่การสนับสนุนโครงสร้างสำหรับตัวกรอง HEPA แต่ยังความต้องการในการปรับระดับที่แม่นยำที่รับประกันการกระจายการไหลของอากาศที่

การปรับปรุงเพดานและการไหลของอากาศ

ระบบเพดานเป็นหัวใจของการควบคุมอนุภาคห้องสะอาดโรงงาน FFU ห้องสะอาดที่ส่งอากาศกรองไปยังพื้นที่ทำงาน การไหลของอากาศลงอย่างสม่ำเสมอผ่านระเบียงเพดานทั้งหมดสร้างผลลูกสูบ ที่กวาดอนุภาคออกจากพื้นผิวเวเฟอร์ไปยังตะแกรงอากาศกลับมาในพื้นที่ยกขึ้นการออกแบบระบบ hvac ห้องสะอาดต้องประสานงานการวางกรอง ความจุของพัดลม และเส้นทางอากาศกลับ เพื่อให้ความเร็วสม่ำเสมอ ภายในบวกหรือลบ 20 เปอร์เซ็นต์ทั่วพื้นที่พื้นห้องสะอาดทั้งหมด ความเบี่ยงเบนใด ๆ ในความเร็วในการไหลของอากาศสร้างโซนการหมุนเวียนใหม่ ที่อนุภาคสามารถสะสมและตั้งอยู่บนผลิตภัณฑ์ได้ ระบบแผงเพดานยังต้องรองรับการเจาะบริการที่หนาแน่นที่จําเป็นสําหรับเครื่องมือกระบวนการ โดยการเจาะแต่ละครั้งถูกปิดผนึกเพื่อรักษาความเป็นเหมือนกั

ผลกระทบต่อผลผลิตของโปรแกรมบำรุงรักษาห้อง

คุณสมบัติเริ่มต้นของห้องสะอาดเซมิคอนดักเตอร์กําหนดประสิทธิภาพของอนุภาคพื้นฐาน แต่การรักษาประสิทธิภาพนั้นในช่วงหลายปีของการผลิตต้องการการบำร การสลายของพื้นผิวแผง, ความล้มเหลวของการปิดผนึกข้อต่อ, และการจัดเรียงตำแหน่งของเพดานทั้งหมดมีส่วนร่วมในการเพิ่มนับอนุภาคค่อยๆ ที่กัดกร่อนผลผล โรงงานเซมิคอนดักเตอร์ที่ประสบความสําเร็จที่สุดดดำเนินการโครงการบำรุงรักษาห้องพักที่ครอบคลุม ซึ่งรวมถึงการระบุลักษณะพื้นผิวแผงประจํา, การตรวจสอบซีลร่วม, และการตรวจสอบตารา